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激光干涉儀的原理與應用
瀏覽次數(shù):323      發(fā)布于:2023-04-16
什么是干涉? 干涉(interference)為兩波重疊時組成新合成波的現(xiàn)象。波的重疊原理 兩波在同一介質中傳播,相向行進而重疊時,重疊范圍內介質 的質點同時受到兩個波的作用。若波的振幅不大,此時重疊范圍內介質質點的振動 位移等于各別波動所造成位移的矢量和,稱為波的重疊原理。 什么是激光干涉儀? 激光干涉儀(laser interferometer) 以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光 干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。 目前 常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為深圳市華聯(lián)歐國際貿易有限公司是歐美工業(yè)備品備件一站式服務商,貨源充足,型號齊全,質量可靠,售后服務佳。專業(yè)原裝行貨,正品保證,歡迎來電咨詢!所有產(chǎn)品售后有質保,并且有終身免費技術指導。我們有專業(yè)的客服團隊,24小時進行服務。下面是深圳華聯(lián)歐小編精心為大家推薦的產(chǎn)品科普一下激光干涉儀的原理與應用,如果您喜歡可以繼續(xù)閱讀詳細瀏覽一下去看看了解一下吧,關注收藏我們網(wǎng)址,每天為大家推送更多的干貨!

什么是干涉?

干涉(interference)為兩波重疊時組成新合成波的現(xiàn)象。波的重疊原理 兩波在同一介質中傳播,相向行進而重疊時,重疊范圍內介質 的質點同時受到兩個波的作用。若波的振幅不大,此時重疊范圍內介質質點的振動 位移等于各別波動所造成位移的矢量和,稱為波的重疊原理。
什么是激光干涉儀?
激光干涉儀(laser interferometer) 以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光 干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。
目前 常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源, 構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線 性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光干涉儀的應用
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可盡大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到較佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。
(3)數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。
(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。
(5)數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。
激光干涉儀的檢測原理
激光頭射出激光(附有參考光束和分光鏡光束的兩個偏振光)先經(jīng)過附有可移動反射鏡的線性干涉鏡 B,附有可移動反射鏡的線性干涉鏡就會將激光分為兩路光束,一路經(jīng)偏振片 1(在干涉鏡內)后成為含有頻率為 F1-F2 的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡(在干涉鏡內)后又分為兩路:一路成為僅含有 F1 的光束射向附在線性干涉鏡上的可移動反射鏡,另一路成為僅含有 F2 的光束激光經(jīng)過。
干涉鏡射向反射鏡,反射鏡的移動便會產(chǎn)生多普勒效應,這時激光會產(chǎn)生 ΔF 的附 加波頻,含有 F2 的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有 F2 ±ΔF 的光束,正負號表示 移動方向,這路光束和由固定反射鏡 E 反射回來僅含有 F1 的光的光束經(jīng)偏振片 2 后會合成為 F1-(F2±ΔF)的測量光束,測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉換 元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±ΔF 的電脈沖信號。經(jīng) 可逆計數(shù)器計數(shù)后,由電子計算機進行當量換算(乘 1/2 激光波長)后即可得出可 動反射鏡的位移量,以上光路關系提示如圖

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